上海誠懇為您揭秘擴散硅變送器的那些事

　　作為壓力變送器中的一員，擴散硅變送器可替代傳統的遠傳壓力表，霍爾元件、差動(dòng)變送器，并具有DDZ-Ⅱ及DDZ-Ⅲ型變送器性能。能與各種型號的動(dòng)圈式指示儀、數字壓力表、電子電位差計配套使用，也能與智能調節儀或計算機系統配套使用。

　　

　　該變送器利用壓阻效應原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過(guò)摻雜、擴散，沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向，制成應變電阻，構成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個(gè)集力敏與力電轉換檢測于一體的變送器。

　　

　　擴散硅變送器的優(yōu)勢特點(diǎn)：

　　

　　1、適合小量程的變送器，硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點(diǎn)附近的低量程段無(wú)死區，制作壓力傳感器的量程可小到幾個(gè)Kpa。

　　

　　2、輸出靈敏度高，硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50～100倍，故相應的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無(wú)特殊要求，使用比較方便。

　　

　　3、由于傳感器的感受、敏感轉換和檢測三部分由同一個(gè)元件實(shí)現，沒(méi)有中間轉換環(huán)節，重復性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線(xiàn)性。

　　

　　4、由于工作單性形變低至微應變數量級，彈性芯片位移在亞微米數量級，因而無(wú)磨損，無(wú)疲勞，無(wú)老化，壽命長(cháng)達1×103壓力循環(huán)，性能穩定，可靠性高。

　　

　　5、由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能，即使是非隔離型的擴散硅壓力傳感器，也有相當程度的適應各種介質(zhì)的能力。

　　

　　6、由于芯片采用集成工藝，又無(wú)傳動(dòng)部件，因此，擴散硅變送器體積小，重量輕。